半导体高纯喷涂

序号	目录表
1	防腐材料选型
2	钢件制造要求
3	半导体高纯喷涂工艺流程
4	检验检测
5	喷涂检验检测和生产实物照片

一、 防腐材料选型
1.1. 高纯PFA喷涂层基本介绍
目前江苏驰耐特防腐科技公司有两种高纯喷涂级PFA，一种为静电粉末喷涂型，另一种为液体喷涂型。常规的静电喷涂粉末PFA和液体PFA均有很多填充材料和色母。高纯PFA与常规PFA对比不论是无任何色母和填充材料，高纯PFA是在洁净环境中采用特殊工艺制作而成。
高纯PFA涂层厚度正常在0.3mm至1mm，能够长时间耐受高纯有机溶剂及高纯强酸强碱腐蚀。如果使用温度特别高又有真空，采用加网喷涂工艺，喷涂厚度最厚可达2mm至2.3mm，能承受240℃以上的高温和极限真空，对冷热交替工况稳定性好。高纯PFA涂层不但纯度优于常规PFA，而且耐氢氟酸、盐酸、水蒸气等小分子致密性比常规PFA要好几倍。
公司配备有10万级、万级、千级三种洁净车间，根据不同要求对设备进行喷涂，能够满足对G1至G5的纯净度要求，最高纯净度可达半导体级10个PPT。
可适用于液晶、光刻胶、聚酰亚胺（PI）、电子湿化学品及各类异形件，包括搅拌、反应釜、干燥设备、压力容器、储罐、阀体、泵体、离心机、排风管、热交换器、清洗设备、CMP抛光设备、高纯过滤器、气体排放系统、过滤器、混料设备等。
 

SEMI国际标准—湿电子化学品品质分级
SEMI	C1(Grade1)	C7(Grade2)	C8(Grade3)	C12(Grade4)	Grade5
金属杂质/ug/L	≤1000	≤10	≤1	≤0.1	≤0.01
	(1ppm)	(10ppb)	(1ppb)	(0.1ppb)	(0.01ppb)
控制颗粒/ul	≤1.0	≤0.5	≤0.5	≤0.2	*
颗粒个数(个 /mL)	≤25	≤25	≤5	供需双方协定	*
适应IC线宽+ 范围/um	>1.2	0.8~1.2	0.2~0.6	0.09~0.2	<0.09
推荐使用四氟涂料品牌	美国杜邦/ 日本大金(PFA)	美国杜邦/ 日本大金(PFA)	美国杜邦/ 日本大金(PFA)/高纯PFA	高纯PFA	高纯PFA
其余防腐选型，建议客户来电或到访咨询

二、 钢件制造要求
2.1. 钢件设计制造标准

序号	标准号	标准名称
1	GB 150.1~4-2011	《压力容器》
2	NB/T 47013-2015	《承压设备无损检测》
3	GB/T 713－2014	《锅炉和压力容器用钢板》
4	GB/T 24511-2017	《承压设备用不锈钢板和钢带》
5	NB/T 10558-2021	《压力容器涂敷与运输包装》
6	TSG 21-2016	《固定式压力容器安全技术监察规程》
7	NB/T 47010-2017	《承压设备用不锈钢锻件和耐热钢锻件》
8	GB/T 3274-2017	《碳素结构钢和低合金结构钢热轧厚钢板和钢带》
9	GB/T 8923.1-2011	《涂装前钢材表面锈蚀等级和除锈等级》
10	HG/T 20580～20585-2020	《钢制化工容器设计基础规范等六项汇编 [合订本]》
11	NB/T 47014-2011	《承压设备焊接工艺评定》
12	NB/T 47041-2014	《塔式容器》
13	NB/T 47065.1~.5-2018	《容器支座》
14	GB/T 25198-2010	《压力容器封头》
15	NB/T 47020～47027-2012	《压力容器法兰、垫片、紧固件》
16	HG/T 20592~20635-2009	《钢制管法兰、垫片、紧固件》
17	NB/T 47003.1-2009	《钢制焊接常压容器》
18	GB/T 8163-2018	《输送流体用无缝钢管》
20	NB/T 47015-2011	《压力容器焊接规程》
21	NB/T 47016-2011	《承压设备产品焊接试件的力学性能检验》
22	HG/T 20677-2013	《橡胶衬里化工设备》
23	GB 713-2014	《锅炉和压力容器用钢板》
24	NB/T 47008~47010-2017	承压设备用碳素钢和合金钢锻件  低温承压设备用合金钢锻件  承压设备用不锈钢和耐热钢锻件》
25	GB/T 9948-2013	《石油裂化用无缝钢管》
26	SH/T 3540-2018	《钢制冷换设备管束防腐涂层及涂装技术规范》
27	GB 50341-2014	《立式圆筒形钢制焊接油罐设计规范》
28	GB 50128-2014	《立式圆筒形钢制焊接储罐施工及验收规范》

2.2. 钢件制作试验和检验项目

序号	项目
1	材料质量合格证明书
2	原材料复检
3	焊接工艺评定
4	焊接接头坡口准备
5	焊接接头外观及最终检验
6	无损检测(按图纸要求)
7	水压试验
8	除锈& 油漆检验(包括表面预处理)
9	运输前检查

2.3. 防腐生产施工标准

序号	标准编号	标准名称
1	HG 20536-1993	《聚四氟乙烯衬里设备》
2	HG/T4277-2011	《钢制塑料衬里塔式容器技术条件》
3	GB/T 26501-2011	《氟塑料衬里压力容器通用技术条件》
4	HG/T 4088-2009	《塑料衬里设备 通用技术要求》
5	HG/T 4093-2022	《塑料衬里设备 衬里耐负压试验方法》
6	GB/T 23711.1-2019	《氟塑料衬里压力容器 电火花试验方法》
7	GB/T 23711.2-2019	《氟塑料衬里压力容器 耐低温试验方法》
8	GB/T 23711.3-2019	《氟塑料衬里压力容器 耐高温试验方法》
9	GB/T 23711.4-2019	《氟塑料衬里压力容器 耐真空试验方法》
10	GB/T 23711.5-2019	《氟塑料衬里压力容器 热胀冷缩试验方法》
11	GB/T 23711.6-2019	《氟塑料衬里压力容器 压力试验方法》
12	HG/T 20678-2000	《衬里钢壳设计技术规定》
13	HGJ 229-1991	《工业设备、管道防腐蚀工程施工及验收规范》
14	HG/T 4112-2009	《塑料衬里储槽和罐式容器技术条件》
15	GB 25025-2010	《衬里设备技术条件》
16	HG/T 20678-2000	《衬里钢壳设计技术规定》

三、 半导体高纯喷涂工艺流程
3.1 半导体高纯喷涂工艺流程简图  
3.2  半导体高纯喷涂工艺流程详细说明

序号	喷涂作业流程	PFA喷涂详细叙述及要点说明
1	基材检查	1.1.检查素材是否有尖锐角、假焊、气孔、咬边、缺料
2	打磨前处理	2.1.打磨：把工件表面的毛刺、焊碴、尖角、锐角等用角磨机仔细打磨； 2.2.R角圆弧度未达到要求的，需手工打磨到R角圆弧度要求； 2.3.打磨过程中发现素材焊接制造有缺陷问题，需及时向生管部主管反应，确保喷涂的质量。
3	高温除油	3.1.空烧设定430℃高温除油，按工件大小、轻重设定保温时间，彻底烧去素材残余油质。（主要把法兰二次车加工油脂高温彻底和焊接处应力去除）
4	喷砂粗糙处理	4.1.喷砂一定要选用硅砂，严禁使用铁砂，因为铁砂会污染不锈钢基材； 4.2.喷砂设定8公斤气压，100 目硅砂先喷一遍，再用 25 目粗砂喷第二遍，喷砂的压力不低于 0.6kg/㎡
5	基材表面清洁	5.1.用空气枪不低于6kg压力，吹净喷砂表面余尘； 5.2.再用吸尘器整体全面吸干净残余灰尘； 5.3.再用无尘布全面擦拭干净； 5.4.向烘箱内架放工件；
6	基材预热	6.1.喷涂前设备进入烘箱内，设定50℃温度预热干燥处理，彻底去除基材残留湿气。
7	喷涂底漆准备	7.1.把所用喷涂底漆料提前半小时充分搅拌，然后倒进喷涂专用喷枪内； 7.2.检查喷涂工具是否有异常，如有异常问题要及时解决，保证喷涂顺畅； 7.3.带好防护口罩、皮手套、眼镜和洁净服。
8	底漆喷涂	8.1.所用料为高纯美国PFA专用底漆; 8.2.烘烤设定温度150℃*40分钟。
9	中涂前空气纯度检测	9.1.中涂前空气纯度检测确认达标
10	中涂前准备	10.1.调试好压力桶各项功能是否正常； 10.2.提前1个小时对PFA料进行搅拌，保证无沉淀； 10.3.检查喷枪的温度、粉量、气压、油量大小等等。
11	中涂	11.1.所用料为美国高纯PFA中漆液体； 11.2.喷涂工艺为液体常温喷涂； 11.3.中涂一共需要8次， 11.5.反复喷涂约8次、反复烧结约8次；
12	中涂检测	12.1.用膜厚仪测量膜厚是否达到0.6mm的预期； 12.2.如个别位置未达到0.6mm防腐层，做好位置标记； 12.3.采用低频直流电火花检测仪设定8000V电压垂直沿防腐层面低于50mm/s的速度进行100%的探伤，把有针孔漏点和气泡、流挂的位置修补起来； 12.4.未达到0.6mm做好标记以及针孔漏点修补完成，然后进烘箱重新喷涂把达到预期质量和厚度标准。
13	上 涂	13.1.所用料为美国高纯PFA中漆液体； 13.2.喷涂工艺为液体常温喷涂； 13.3.中涂一共需要2次； 13.4.反复喷涂约2次、反复烧结约2次。

一、 检验检测
4.1.  设备检验和试验
4.1.1. 在设备制造过程中及出厂前，供方应依据经甲方批准的详细设计图纸和有关标准对设备进行检验。主要包括以下内容：
①　尺寸检查
②　原材料和外购件检验
③　无损检测
④　耐压试验
⑤　泄漏试验（如果有）
⑥　表面处理
⑦　部件材质检验
甲方将对上述结果进行抽查。
4.1.2. 产品出厂前，甲方及项目相关方进行出厂前检验。甲方检验及签字并不免除或减轻供方对产品的责任。
4.1.3. 试验和检验项目

序号	项目
1	材料质量合格证明书
2	原材料复检
3	焊接工艺评定
4	焊接接头坡口准备
5	焊接接头外观及最终检验
6	无损检测(按图纸要求)
7	水压试验
8	除锈& 油漆检验(包括表面预处理)
9	运输前检查

4.2. 喷涂检验工序项目一览表

序号	项目名称
1.	素材检查
2.	原材料检验（品牌名称、批次号、目测外观）
3.	钢件高温除油除杂质
4.	钢件喷砂粗糙化处理
5.	喷涂前基材预热烘烤温度
6.	喷涂底漆烘烤温度
7.	喷涂面漆烘烤温度
8.	电火花检测
11.	衬层外观检测
12.	膜厚检测
13.	附着力检测
14.	外表面刷防锈漆
15.	外包装（法兰面保护全部用金属盲板且有涂防锈漆）
16.	设备防腐出厂资料报告

序号	检测项目	检验范围	检验标准	参考数据	甲方拒收标准
1	喷涂层膜厚检测	70%表面积	企业标准	1~1.2	最薄部位＜1mm
2	喷涂外观目测	全  检	企业标准	100%合格	气泡 流挂
3	附着力检测	法兰侧边5%	企业标准	试板切开10mm*60mm	涂层起皮
4	电火花检测	全  检	GB/T 26501-2011	100%合格	8000伏有针孔漏点出现
5	电阻检测（如要求）	全  检	企业标准	500兆欧	500兆欧以上

4.4.  喷涂重点检验点实物照片
4.4.1 喷涂层膜厚检 4.4.2 附着力检测
4.4.3 电火花检测
4.2. 喷涂检测设备

序号	检测设备名称	用途	实物照片
1	膜厚仪	测试涂层厚度
2	电火花检测仪	测试涂层是否有漏点
3	附着力检测仪	检测涂层附着力

五、 喷涂检验检测和生产实物照片