半导体高纯喷涂

序号	目录表
1	防腐材料选型
2	钢件制造要求
3	半导体高纯喷涂工艺流程
4	检验检测
5	喷涂检验检测和生产实物照片

一、 防腐材料选型
1.1. 高纯PFA喷涂层基本介绍
目前江苏驰耐特防腐科技公司有两种高纯喷涂级PFA，一种为静电粉末喷涂型，另一种为液体喷涂型。常规的静电喷涂粉末PFA和液体PFA均有很多填充材料和色母。高纯PFA与常规PFA对比不论是无任何色母和填充材料，高纯PFA是在洁净环境中采用特殊工艺制作而成。
高纯PFA涂层厚度正常在0.3mm至1mm，能够长时间耐受高纯有机溶剂及高纯强酸强碱腐蚀。如果使用温度特别高又有真空，采用加网喷涂工艺，喷涂厚度最厚可达2mm至2.3mm，能承受240℃以上的高温和极限真空，对冷热交替工况稳定性好。高纯PFA涂层不但纯度优于常规PFA，而且耐氢氟酸、盐酸、水蒸气等小分子致密性比常规PFA要好几倍。
公司配备有10万级、万级、千级三种洁净车间，根据不同要求对设备进行喷涂，能够满足对G1至G5的纯净度要求，最高纯净度可达半导体级10个PPT。
可适用于液晶、光刻胶、聚酰亚胺（PI）、电子湿化学品及各类异形件，包括搅拌、反应釜、干燥设备、压力容器、储罐、阀体、泵体、离心机、排风管、热交换器、清洗设备、CMP抛光设备、高纯过滤器、气体排放系统、过滤器、混料设备等。
 

SEMI国际标准—湿电子化学品品质分级
SEMI	C1(Grade1)	C7(Grade2)	C8(Grade3)	C12(Grade4)	Grade5
金属杂质/ug/L	≤1000	≤10	≤1	≤0.1	≤0.01
	(1ppm)	(10ppb)	(1ppb)	(0.1ppb)	(0.01ppb)
控制颗粒/ul	≤1.0	≤0.5	≤0.5	≤0.2	*
颗粒个数(个 /mL)	≤25	≤25	≤5	供需双方协定	*
适应IC线宽+ 范围/um	>1.2	0.8~1.2	0.2~0.6	0.09~0.2	<0.09
推荐使用四氟涂料品牌	美国杜邦/ 日本大金(PFA)	美国杜邦/ 日本大金(PFA)	美国杜邦/ 日本大金(PFA)/高纯PFA	高纯PFA	高纯PFA
其余防腐选型，建议客户来电或到访咨询

二、 钢件制造要求
2.1. 钢件设计制造标准

序号	标准号	标准名称
1	GB 150.1~4-2011	《压力容器》
2	NB/T 47013-2015	《承压设备无损检测》
3	GB/T 713－2014	《锅炉和压力容器用钢板》
4	GB/T 24511-2017	《承压设备用不锈钢板和钢带》
5	NB/T 10558-2021	《压力容器涂敷与运输包装》
6	TSG 21-2016	《固定式压力容器安全技术监察规程》
7	NB/T 47010-2017	《承压设备用不锈钢锻件和耐热钢锻件》
8	GB/T 3274-2017	《碳素结构钢和低合金结构钢热轧厚钢板和钢带》
9	GB/T 8923.1-2011	《涂装前钢材表面锈蚀等级和除锈等级》
10	HG/T 20580～20585-2020	《钢制化工容器设计基础规范等六项汇编 [合订本]》
11	NB/T 47014-2011	《承压设备焊接工艺评定》
12	NB/T 47041-2014	《塔式容器》
13	NB/T 47065.1~.5-2018	《容器支座》
14	GB/T 25198-2010	《压力容器封头》
15	NB/T 47020～47027-2012	《压力容器法兰、垫片、紧固件》
16	HG/T 20592~20635-2009	《钢制管法兰、垫片、紧固件》
17	NB/T 47003.1-2009	《钢制焊接常压容器》
18	GB/T 8163-2018	《输送流体用无缝钢管》
20	NB/T 47015-2011	《压力容器焊接规程》
21	NB/T 47016-2011	《承压设备产品焊接试件的力学性能检验》
22	HG/T 20677-2013	《橡胶衬里化工设备》
23	GB 713-2014	《锅炉和压力容器用钢板》
24	NB/T 47008~47010-2017	承压设备用碳素钢和合金钢锻件  低温承压设备用合金钢锻件  承压设备用不锈钢和耐热钢锻件》
25	GB/T 9948-2013	《石油裂化用无缝钢管》
26	SH/T 3540-2018	《钢制冷换设备管束防腐涂层及涂装技术规范》
27	GB 50341-2014	《立式圆筒形钢制焊接油罐设计规范》
28	GB 50128-2014	《立式圆筒形钢制焊接储罐施工及验收规范》

2.2. 钢件制作试验和检验项目

序号	项目
1	材料质量合格证明书
2	原材料复检
3	焊接工艺评定
4	焊接接头坡口准备
5	焊接接头外观及最终检验
6	无损检测(按图纸要求)
7	水压试验
8	除锈& 油漆检验(包括表面预处理)
9	运输前检查

2.3. 防腐生产施工标准

序号	标准编号	标准名称
1	HG 20536-1993	《聚四氟乙烯衬里设备》
2	HG/T4277-2011	《钢制塑料衬里塔式容器技术条件》
3	GB/T 26501-2011	《氟塑料衬里压力容器通用技术条件》
4	HG/T 4088-2009	《塑料衬里设备 通用技术要求》
5	HG/T 4093-2022	《塑料衬里设备 衬里耐负压试验方法》
6	GB/T 23711.1-2019	《氟塑料衬里压力容器 电火花试验方法》
7	GB/T 23711.2-2019	《氟塑料衬里压力容器 耐低温试验方法》
8	GB/T 23711.3-2019	《氟塑料衬里压力容器 耐高温试验方法》
9	GB/T 23711.4-2019	《氟塑料衬里压力容器 耐真空试验方法》
10	GB/T 23711.5-2019	《氟塑料衬里压力容器 热胀冷缩试验方法》
11	GB/T 23711.6-2019	《氟塑料衬里压力容器 压力试验方法》
12	HG/T 20678-2000	《衬里钢壳设计技术规定》
13	HGJ 229-1991	《工业设备、管道防腐蚀工程施工及验收规范》
14	HG/T 4112-2009	《塑料衬里储槽和罐式容器技术条件》
15	GB 25025-2010	《衬里设备技术条件》
16	HG/T 20678-2000	《衬里钢壳设计技术规定》

三、 半导体高纯喷涂工艺流程
3.1 半导体高纯喷涂工艺流程简图  
3.2  半导体高纯喷涂工艺流程详细说明

序号	喷涂作业流程	PFA喷涂详细叙述及要点说明
1	基材检查	1.1.检查素材是否有尖锐角、假焊、气孔、咬边、缺料
2	打磨前处理	2.1.打磨：把工件表面的毛刺、焊碴、尖角、锐角等用角磨机仔细打磨； 2.2.R角圆弧度未达到要求的，需手工打磨到R角圆弧度要求； 2.3.打磨过程中发现素材焊接制造有缺陷问题，需及时向生管部主管反应，确保喷涂的质量。
3	高温除油	3.1.空烧设定430℃高温除油，按工件大小、轻重设定保温时间，彻底烧去素材残余油质。（主要把法兰二次车加工油脂高温彻底和焊接处应力去除）
4	喷砂粗糙处理	4.1.喷砂一定要选用硅砂，严禁使用铁砂，因为铁砂会污染不锈钢基材； 4.2.喷砂设定8公斤气压，100 目硅砂先喷一遍，再用 25 目粗砂喷第二遍，喷砂的压力不低于 0.6kg/㎡
5	基材表面清洁	5.1.用空气枪不低于6kg压力，吹净喷砂表面余尘； 5.2.再用吸尘器整体全面吸干净残余灰尘； 5.3.再用无尘布全面擦拭干净； 5.4.向烘箱内架放工件；
6	基材预热	6.1.喷涂前设备进入烘箱内，设定50℃温度预热干燥处理，彻底去除基材残留湿气。
7	喷涂底漆准备	7.1.把所用喷涂底漆料提前半小时充分搅拌，然后倒进喷涂专用喷枪内； 7.2.检查喷涂工具是否有异常，如有异常问题要及时解决，保证喷涂顺畅； 7.3.带好防护口罩、皮手套、眼镜和洁净服。
8	底漆喷涂	8.1.所用料为高纯美国PFA专用底漆; 8.2.烘烤设定温度150℃*40分钟。
9	中涂前空气纯度检测	9.1.中涂前空气纯度检测确认达标
10	中涂前准备	10.1.调试好压力桶各项功能是否正常； 10.2.提前1个小时对PFA料进行搅拌，保证无沉淀； 10.3.检查喷枪的温度、粉量、气压、油量大小等等。
11	中涂	11.1.所用料为美国高纯PFA中漆液体； 11.2.喷涂工艺为液体常温喷涂； 11.3.中涂一共需要8次， 11.5.反复喷涂约8次、反复烧结约8次；
12	中涂检测	12.1.用膜厚仪测量膜厚是否达到0.6mm的预期； 12.2.如个别位置未达到0.6mm防腐层，做好位置标记； 12.3.采用低频直流电火花检测仪设定8000V电压垂直沿防腐层面低于50mm/s的速度进行100%的探伤，把有针孔漏点和气泡、流挂的位置修补起来； 12.4.未达到0.6mm做好标记以及针孔漏点修补完成，然后进烘箱重新喷涂把达到预期质量和厚度标准。
13	上 涂	13.1.所用料为美国高纯PFA中漆液体； 13.2.喷涂工艺为液体常温喷涂； 13.3.中涂一共需要2次； 13.4.反复喷涂约2次、反复烧结约2次。

一、 检验检测
4.1.  设备检验和试验
4.1.1. 在设备制造过程中及出厂前，供方应依据经甲方批准的详细设计图纸和有关标准对设备进行检验。主要包括以下内容：
①　尺寸检查
②　原材料和外购件检验
③　无损检测
④　耐压试验
⑤　泄漏试验（如果有）
⑥　表面处理
⑦　部件材质检验
甲方将对上述结果进行抽查。
4.1.2. 产品出厂前，甲方及项目相关方进行出厂前检验。甲方检验及签字并不免除或减轻供方对产品的责任。
4.1.3. 试验和检验项目

序号	项目
1	材料质量合格证明书
2	原材料复检
3	焊接工艺评定
4	焊接接头坡口准备
5	焊接接头外观及最终检验
6	无损检测(按图纸要求)
7	水压试验
8	除锈& 油漆检验(包括表面预处理)
9	运输前检查

4.2. 喷涂检验工序项目一览表

序号	项目名称
1	素材检查
2	原材料检验（品牌名称、批次号、目测外观）
3	钢件高温除油除杂质
4	钢件喷砂粗糙化处理
5	喷涂前基材预热烘烤温度
6	喷涂底漆烘烤温度
7	喷涂面漆烘烤温度
8	电火花检测
11	衬层外观检测
12	膜厚检测
13	附着力检测
14	外表面刷防锈漆
15	外包装（法兰面保护全部用金属盲板且有涂防锈漆）
16	设备防腐出厂资料报告

序号	检测项目	检验范围	检验标准	参考数据	甲方拒收标准
1	喷涂层膜厚检测	70%表面积	企业标准	1~1.2	最薄部位＜1mm
2	喷涂外观目测	全  检	企业标准	100%合格	气泡 流挂
3	附着力检测	法兰侧边5%	企业标准	试板切开10mm*60mm	涂层起皮
4	电火花检测	全  检	GB/T 26501-2011	100%合格	8000伏有针孔漏点出现
5	电阻检测（如要求）	全  检	企业标准	500兆欧	500兆欧以上

4.4.  喷涂重点检验点实物照片
4.4.1 喷涂层膜厚检 4.4.2 附着力检测
4.4.3 电火花检测
4.2. 喷涂检测设备

序号	检测设备名称	用途	实物照片
1	膜厚仪	测试涂层厚度
2	电火花检测仪	测试涂层是否有漏点
3	附着力检测仪	检测涂层附着力

五、 喷涂检验检测和生产实物照片